。此外，镀膜元素的自身峰（如Au的Mα，Ag的Lα，Pt的Mα等）也会出现在谱图中，增加解析难度。银的主要X射线峰为Lα（~3.0 keV）和Lβ（~3.15 keV），位置比Au的M峰高一些，对于P, S, Cl等元素的Kα峰区间没有直接干扰。因此在需要进行元素分析且涉及磷、氯、硫等元素的生物或地质样品中，有时银镀膜被视为优于金镀膜的选择。例如，某些生物样品中含磷（DNA、骨骼）、含氯（盐类）、含硫（蛋白质）的成分较多，使用金镀膜可能使这些元素的谱峰淹没在金M谱峰中，而银镀膜则较少出现该问题。当然，银膜会引入Ag的谱峰，同样需要在分析时扣除背景。综上，在需进行EDS元素分析的应用里，推荐根据待测元素种类选择靶材：若涉及P、S等元素可考虑银靶替代金靶；如不涉及，可继续使用金或铂，但需注意扣除其谱峰对分析的影响。

靶材兼容性与应用案例

仪器兼容性：对于典型的低真空溅射镀膜仪而言（如VPI SD-900系列），更换不同金属靶材一般是可行且便捷的。这类仪器通常采用直流磁控溅射，对导电性材料均适用，因此金、银、铂等金属靶均能被溅射击穿并沉积到样品上。而靶材的物理尺寸（直径、厚度）只要符合仪器设计即可互换使用。例如，SD-900M配备标准直径的圆盘靶，用户可以通过卸下靶夹环更换为银靶或铂靶，然后调节溅射电流/时间以达到所需膜厚。需要注意的是，不同靶材的溅射参数可能略有不同：银靶的击穿电压和电流与金相似，通常无需特别调整；铂靶由于溅射速率较慢，可能需要延长打靶时间或略高的电流才能获得同样厚度。另外，前文提及的铂靶对残余气体敏感问题，意味着如果使用SD-900（非磁控）等简单溅射仪，尽量确保良好的预抽真空和惰性气体环境，以减少铂膜开裂。总体而言，SD-900/SD-900M这类镀膜仪在硬件上兼容多种金属靶材，铂金靶的应用只需在操作上稍加注意真空度和溅射时间，而银靶的使用几乎与金靶无异。

稳定性与维护：更换不同材质靶材对仪器本身的稳定运行没有大的影响，但靶材的特性可能对镀膜腔体清洁度有所不同。金和铂都是惰性金属，溅射过程中不会与残余气体剧烈反应，靶材消耗均匀可控。银靶在长期闲置或使用中若暴露于空气，表面可能形成氧化层，但一般并不妨碍后续溅射（初始几秒的溅射过程会清除表面氧化层）。用户在更换靶材时应佩戴手套并避免用手直接接触靶材表面，银靶尤其要注意存放于干燥密封容器中以防失光。对于使用铂靶的仪器，定期检查真空系统的密封和干燥剂，以确保达到铂镀膜所需的较佳真空条件。此外，不同金属的溅射碎片可能沉积在腔壁上，例如金、银的沉积会呈现不同颜色，定期清洁可避免交叉污染影响其他分析。