在国际金价持续上涨背景下，寻找低真空镀膜仪中金靶的替代靶材具有现实意义。文章分析了银靶和铂金靶替代金靶用于SEM及场发射电镜样品制备的可行性，对比了三者在材料性能、膜层质量、电镜成像效果、靶材兼容性等方面的表现。从材料性能看，银靶成本低、导电性佳但颗粒略大且易失光；铂金靶颗粒超细、化学惰性好但导电性稍逊且价格贵；金靶性能均衡但价格高。膜层质量上，铂金膜均匀性好但对真空要求高，银膜在含卤素材料上质量可能受影响，金膜和银膜附着力好。电镜成像方面，铂膜适合高分辨率场景，金膜和银膜在中低分辨率下表现良好。仪器兼容性上，SD - 900/SD - 900M等镀膜仪兼容多种金属靶材。在金价高企时，银靶适合中低倍率成像和即时观察场景，铂金靶适合高分辨率和高要求应用。用户可根据实验需求和经费状况选择靶材，银和铂等靶材将在SEM制样领域发挥更重要作用。
和背散射电子信号，从而令图像更亮、更有对比度。金和铂的原子序数高（Au 79，Pt 78），对入射电子的散射能力强，二次电子产额都很高，因此镀金和镀铂通常都能显著提高图像亮度和细节。银的原子序数为47，略低，因此银膜产生的二次电子相对略少，图像亮度/对比可能稍低于同厚度金膜或铂膜。不过银仍属于高原子序数金属，相比未镀膜时的绝缘样品，其提高信噪比的效果依然非常显著。因此在一般SE（二次电子）成像模式下，三种镀膜对图像质量的改善都是明显的，差别主要在极限分辨率和高倍率下。
2. 分辨率与高倍率成像：当SEM放大倍数升高到几十万倍量级时，镀膜层自身的颗粒结构和厚度将影响最终分辨率。金膜由于颗粒约5 nm，在>50k×以上倍率下会在图像中呈现出微小的颗粒纹理。这相当于在观察样品细节的同时，也看到了覆膜本身的结构，从而限制了能够观察的最小细节尺寸。银膜颗粒与金相近，也会有类似的问题——一般来说，在场发射高分辨SEM上，如果尝试超过50,000倍观察银镀膜样品，可能也会逐渐看到银颗粒的影子，甚至由于银颗粒略大，有时在30,000倍附近就开始出现细微影响。相比之下，铂膜因为颗粒极细，在100,000倍以上成像依然不明显可见颗粒。这使得铂镀膜非常适合高分辨率应用场景。例如在前文提到的纳米纤维案例中，采用2 nm铂膜可以在100k×下清晰成像纤维结构而无杂质；若用金膜，则10 nm厚度在同倍率下就明显看到一层金颗粒附着在纤维表面，干扰了纤维本身的形貌辨识。因此对于要求超高分辨率（>50k×）或观察纳米级细节的样品（如纳米材料、生物超微结构等），铂金靶镀膜能提供更好的成像效果；而在中低分辨率（<50k×）常规观察中，金靶和银靶镀膜已经足够胜任，且看不出显著差别。
3. X射线能谱（EDS）影响：在SEM搭载的能量色散X射线谱（EDS）分析中，镀膜材料本身的谱峰可能干扰对样品成分的检测。金在5 keV以下有M系谱线（~2.2 keV）和Lα线（~9.7 keV）等，其M线正好落在磷(P)和硫(S)元素的Kα峰附近，会对检测这些轻元素造成干扰。铂有M系谱线在2 keV左右，L系谱线在约2 keV以上，同样可能与某些元素峰重合，因此镀铂同样不利于EDS中检测轻元素
