银膜在常规厚度下也能形成均匀连续的覆盖层。但应注意，如样品含有氯、硫等卤素元素，银在溅射过程中可能与之反应生成化合物，导致颗粒变粗从而膜层不均匀。因此对于含卤素较多的材料（如某些盐类、生物样品等），银膜的质量可能受影响，不如金膜和铂膜稳定。

2. 膜层附着力和应力：几种金属中，金和银均较软，溅射形成的薄膜在绝大多数材料表面附着力良好，不易产生裂纹。铂金属较硬，且溅射过程中铂原子可能在基底表面产生较大内应力。特别是在存在残余氧气的情况下，铂膜容易出现微裂纹（称为“应力开裂”现象）。这是因为铂与氧作用会改变膜层生长方式和应力状态。一些多孔样品在抽真空时会释放出氧或水汽，也可能诱发铂膜产生龟裂纹路。因此要获得高质量无裂纹的铂膜，通常需要更高的真空度或纯惰性气氛以尽量避免氧的影响。在这一点上，金靶和银靶对真空要求相对没那么严苛——即使在普通旋转泵真空（~10 Pa量级）环境中也能溅射出致密连续的金膜或银膜。现代低真空磁控溅射仪（如SD-900M）通常带有氩气冲洗功能，可在溅射前置换腔体中的空气，从而提高铂膜质量、减少裂纹风险。

3. 膜层稳定性（存储和环境影响）：金和铂都是化学惰性很高的贵金属，其溅射膜在空气中长期放置也不会氧化或失去导电性。样品镀金或镀铂后可长期保存而膜层性质基本不变，这对需要保存样品或延后测试非常有利。相比之下，银膜在空气中特别是有硫、氯等污染时容易失去光泽（即发生“氧化发黑”或硫化变暗的现象）。变暗的银膜虽然仍有一定导电性，但其表面可能生成的硫化银/氯化银会降低导电能力，并影响后续观察或分析。因此，用银靶镀膜的样品不宜长时间存放暴露于空气中，最好在制备后尽快完成显微镜观察。如果必须长期保存，建议密封于干燥无硫环境，或者在使用前重新溅射新鲜的导电膜。

电镜成像效果

导电镀膜的根本目的是提高SEM成像质量，包括抑制电荷积累、提升信噪比和分辨率等。不同靶材对电子成像产生的影响既有共同点也有差异。

1.    抑制电荷与信噪比：不论金、银或铂，均属于高导电性金属，镀上一层后能有效导出电子束激发的二次电荷，消除图像中的“充电效应”。这在非导电样品（如生物组织、聚合物、矿物等）的SEM中至关重要。由于银的电导率最高，在相同厚度下银膜导电排除电荷的能力理论上最强；金次之，铂稍逊。但在实际操作中，只要膜层达到几纳米并覆盖完整，各种金属都足以消除充电。值得注意的是，在极薄膜（<2 nm）情况下，铂因自身电阻率较高，可能需要略大厚度才能达到与金银相同的导电效果。然而如前所述，铂膜通常也不会低于2 nm使用，所以能够满足需求。在信噪比方面，重金属镀膜还会增加样品的二次电子产额