东北大学部署 高真空650MHT双靶温控溅射系统，助力材料科学研究

2025年11月前后，VPI在东北大学 材料相关实验平台成功部署并调试完成了一台SD-650MHT型号高真空磁控溅射镀膜设备。此次设备的引入，不仅提升了实验室在薄膜材料制备方面的能力，也成为VPI产学研协作的又一案例。

东北大学是教育部直属重点高校、国家“211工程”“985工程”首批重点建设高校，也是“双一流”建设高校之一。学校在材料、冶金、自动化、信息等学科领域具有深厚的学术积累和强大的科研实力，长期以来为国家和行业培养了大量高水平工程技术人才。

多学科科研应用的理想平台

作为一款面向材料科学研发的中高端镀膜仪器，SD-650MHT适用于金属材料表面工程、氧化物功能膜层、新型电子材料等多个研究方向。设备支持直流与射频溅射，能够在金属、陶瓷、半导体、绝缘体等多类材料上沉积高质量薄膜，为课题组开展包括导电层、介电层、多层膜结构等实验提供了关键支撑。

“设备运行稳定，出膜均匀，操作界面友好，满足科研需求。”这是高校用户对SD-650MHT设备的普遍评价。该设备不仅具备稳定的真空系统，确保镀膜过程均匀可重复，同时通过触控界面实现便捷操作，科研人员能够快速掌握流程、灵活调整参数，从而提高实验效率。实验数据也显示，薄膜结构质量良好，性能表现优异，已在多项材料科研项目中发挥了核心作用。

长期服务与品牌价值

设备交付后，VPI工程师为科研人员提供了系统的培训和使用指导，确保设备能够尽快投入使用。多年来，VPI已与全国2000余所高校和科研机构建立合作关系，累计交付各类真空镀膜设备超3000台，涵盖材料、物理、电子、化学等多个学科方向。VPI始终坚持“服务为本、合作为长”的理念，为用户提供从设备交付、安装、调试到长期维护与技术支持的一体化服务。

此次与东北大学的合作，不仅体现了VPI在科研服务领域的专业性，也再次印证了国产科研仪器在一流高校平台中的广泛适用性和认可度。未来，VPI将继续以技术为根基，以服务为纽带，与更多科研团队携手共进，共同推动材料科学与真空技术的发展与突破。