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持续迭代、小步创新:高真空双靶磁控溅射镀膜仪SD-650MHT强化版
来源: | 作者:VPI_ZTT | 发布时间: 2024-07-10 | 193 次浏览 | 分享到:
产品介绍
SD-650MHT溅射镀膜仪采用了先进的机械设计和精密的控制系统,具备极高的真空度和稳定的气体控制能力。其核心组件包括旋转真空泵和涡轮分子泵组合,能迅速达到极限真空度5×10^-5Pa,确保镀膜过程的高效和稳定。此外,仪器配备了直径260mm,高度200mm的金属腔体,能够容纳更大尺寸的样品,满足各种实验需求。

持续迭代、小步创新:高真空双靶磁控溅射镀膜仪SD-650MHT强化版

近日,博远微朗VPI正式发布了最新升级款溅射镀膜仪SD-650MHT强化版,这款设备凭借其卓越的性能和便捷的操作方式,已经于今年签约了国内部分大学和实验室,成为了科研机构的不二选择。

 


产品介绍

SD-650MHT溅射镀膜仪采用了先进的机械设计和精密的控制系统,具备极高的真空度和稳定的气体控制能力。其核心组件包括旋转真空泵和涡轮分子泵组合,能迅速达到极限真空度5×10^-5Pa,确保镀膜过程的高效和稳定。此外,仪器配备了直径260mm,高度200mm的金属腔体,能够容纳更大尺寸的样品,满足各种实验需求。

 

主要特点

1.     高效真空系统:采用泵油旋转真空泵和免油涡轮分子泵的组合设计,确保快速达到所需真空度,提高实验效率。

2.     精准气体控制:内置气体流量控制阀,支持从大气压到10^-6Pa的广泛测量范围,保障溅射镀膜的精度。

3.     便捷操作界面:触控屏设计,操作简便直观。用户可通过屏幕轻松设置各项参数,并实时监控镀膜过程。

4.     安全可靠:内置多重保护措施,包括漏电保护和真空系统保护,确保设备和人员的安全。

5.     多样化应用:适用于多种材料的镀膜需求,特别是弱磁性物质的溅射靶源,极大拓宽了应用范围。

 

使用建议

SD-650MHT设计贴心,建议用户将主机和机柜并排放置在桌面上,冷却箱和机械泵放置于地面上。设备需配备氩气设备,氩气接口为3mm双金属卡套,可连接3mm不锈钢软管。开机前建议用户先将冷水箱温度设置为20℃,确保设备的最佳工作状态。

 

VPI博远微朗

SD-650MHT溅射镀膜仪的推出,标志着博远微朗在高精度镀膜技术领域的持续不断迭代和小步、快速的技术积累。高效、精准、便捷、高性价比的仪器特点,将为科研工作者和实验室带来全新的体验和更高的工作效率。博远微朗将继续秉承“追求卓越”的精神,为客户提供更优质的产品和服务。

 

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