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样品制备:如何使用喷金仪(离子溅射仪)改善SEM 成像
来源: | 作者:vpichina | 发布时间: 2020-11-16 | 3671 次浏览 | 分享到:
样品制备:如何使用喷金仪(离子溅射仪)改善SEM 成像

 

在某些极端情况下,它可能会导致表面形貌失真或呈现样品的虚假成分信息。然而,在大多数情况下,只要选择合理的喷金参数,操作者既能够获得高质量的成像,又不会损失样品的原始信息。

 

哪些材料可以作为样品的镀层材料?

 

zui常用的溅射材料是金属,因为它的导电性高,颗粒尺寸相对较小,可以得到高分辨率成像。此外,如果需要EDX分析,SEM操作者通常会将碳镀在他们的样品上,因为碳的X射线峰不会与其他元素的峰值发生冲突。

 

如今,当需要超高分辨率成像时,还可以使用其他晶粒组织细小的溅射材料,如钨、铱或铬等。另一些镀层材料如铂、钯和银,则具有可逆性的优点。